血漿インジケーターテープ は、真空システムおよびプラズマプロセスに特に使用されるインテリジェントな検出材料です。特別な物理的および化学的変化を通じて、主要なパラメーターに関するリアルタイムのフィードバックを提供します。人間の目には見えないプラズマの状態やマイクロリークを直感的に表示できます。
1. 血漿インジケーターテープの使用上の注意
(1)。表面前処理
貼り付ける前に、テストする表面をアセトンまたはイソプロピルアルコールで洗浄する必要があります。拭き取り後は溶剤を完全に蒸発させるため、2分間放置してください。処理後の表面エネルギーは 38dyn/cm 以上である必要があり、これはダインペンテストで確認できます。油汚れによる感度低下の原因となりますので、粘着面に指で直接触れないでください。
(2)。貼り付け操作
インジケーターテープを帯電防止剥離フィルムから剥がした後、片側に沿ってゆっくりと巻き、0.5〜1kg/cm2の均一な圧力を加えます。シリコンスクレーパーを使って端を押して気泡を取り除きます。直径 1mm 以下の小さな気泡は許容されます。貼り付け後、粘着層が完全に平らになるまで5分間放置します。繰り返しの剥がし貼り付けは厳禁です。貼り直すたびに粘着力は50％以上減少します。
2. プラズマインジケーターテープの故障基準
(1) 物理的故障基準
基板の損傷: 目に見える亀裂 (長さ > 2mm) または層間剥離が発生し、基板に不可逆的な反りが生じます (曲げ半径 > 15°)。
接着不良: 接着面残留面積 > 5% (再接着に影響)、剥離強度は初期値の 30% 未満に低下します (引張試験機でテストする必要があります)。
汚染と腐食: 除去できない粒子状汚染物質が表面に付着し (粒子サイズ > 50μm、密度 > 3/cm2)、基板がプラズマによって侵食されて穴 (直径 > 1mm) が形成されます。
(2) 化学的破壊基準
異常な変色反応: 標準条件 (50W アルゴン プラズマなど) では、変色時間が公称値を ±30% 超え、変色領域が不均一な拡散を示します (カラー スポット直径差 > 20%)。
コーティングの欠陥: 敏感なコーティング剥離領域 > 10% (顕微鏡観察)、繰り返し使用後の ΔE 値の低下 > 40% (分光光度計検出)。化学的安定性の損傷: 基板の脆化は、腐食性ガス (Cl2、F2 など) にさらされ、0.2ppm を超えるオゾン濃度に 24 時間以上累積的にさらされると発生します。
次の状況が発生した場合は、プラズマ インジケーター テープを交換する必要があります。
基板上に長さ 2mm を超える亀裂または層間剥離が発生します。残留接着剤表面積が 5% を超えると、貼り直しに影響します。色の変化の応答時間が初期値と比較して 50% 以上増加しました。累積暴露時間がメーカー指定の寿命を超えています。
3.プラズマインジケーターテープの保管条件
(1) 環境要件
温度：15～25℃（変動<±3℃/h）
遮光性: UV強度 <10μW/cm²
防塵：クリーンクラス1000以下
(2) 梱包仕様
オリジナルのアルミ箔袋に密封（水蒸気透過率 <0.1g/m²/日）
静電気防止キャビネット内で地面から離して保管 (表面抵抗 103-10⁶Ω)
「s-gravenweg 542、3065sgロッテルダムThe Netherlands
+31（0）10 254 28 08
